天津华海清科CMP项目助力半导体产业升级-天津产业园区

天津华海清科CMP项目助力半导体产业升级

半导体产业招商项目产业升级

所属地区：天津发布日期：2025年08月28日

在天津市科委、津南区等部门积极推动下，天津华海清科机电科技有限公司申报的国家科技重大专项项目完成立项审批，获中央财政经费支持近亿元。该项目聚焦集成电路制造关键抛光技术突破，将提升我国半导体设备自主创新能力，为天津市招商引资和高端装备制造业高质量发展增添重要支撑。
一、项目立足国家战略需求，破解产业发展瓶颈。集成电路产业是信息技术产业的核心，CMP（化学机械抛光）技术作为芯片制造中的关键工序，直接影响芯片良率与性能。长期以来，我国CMP设备依赖进口，核心技术受国际封锁，制约集成电路产业自主可控发展。该项目的实施，旨在突破CMP系统设计、核心部件制造等关键技术，填补国内高端CMP设备产业化空白，从根本上改变我国半导体设备受制于人的局面，为国家集成电路产业安全提供技术保障。
二、聚焦技术创新方向，构建自主研发体系。项目将围绕CMP整机系统集成、高精度运动控制、抛光工艺优化等核心环节展开攻关。通过研发具有自主知识产权的CMP设备整机平台，突破纳米级平整度控制、多工艺兼容等技术难题，形成系列化技术标准和专利。同时，项目将推动CMP设备从实验室研发向规模化生产转化，建立完善的测试验证体系，为我国12英寸及以上先进制程芯片制造提供稳定可靠的装备支撑，助力芯片制造工艺向更先进节点突破。
三、依托企业研发实力，夯实产业发展基础。华海清科是由天津市政府与清华大学联合支持成立的高科技企业，专注于CMP技术及设备的研发与产业化。公司在CMP设备领域已形成国内领先的技术优势，拥有一支由院士、长江学者等领衔的高水平研发团队，具备完整的研发、设计、生产及测试能力。作为国内唯一实现12英寸CMP整机设备研发与生产的企业，公司已积累多项核心技术专利，为项目实施提供了坚实的技术储备和人才保障，确保项目研发任务的顺利推进。
四、政企协同发力，助推产业集群发展。天津市始终将半导体产业作为重点发展的战略性新兴产业，通过完善政策支持、优化创新生态、强化招商引资等举措，吸引和培育了一批像华海清科这样的领军企业。津南区作为天津高端制造产业的重要承载区，为企业提供了涵盖场地、资金、人才等方面的全方位支持，助力企业攻克关键技术，加速科技成果转化。此次项目的立项，既是国家对天津半导体产业创新能力的肯定，也将进一步推动天津形成从设备研发到芯片制造的完整产业链，吸引更多上下游企业集聚，提升区域产业竞争力，为我国半导体产业高质量发展贡献天津力量。
该项目的实施，不仅将实现我国CMP设备技术的重大突破，更将带动半导体材料、精密零部件等相关产业发展，形成协同创新的产业生态。随着项目的推进，我国半导体设备行业的自主创新能力将得到显著增强，为打破国际技术垄断、推动半导体产业快速发展奠定坚实基础，也为天津市打造国家级半导体产业基地注入新的动能。

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